ULVAC RF電源選配件 EXN4M-40A
特點
可以切換匹配器的輸出。
不需要為每個陰極單獨安裝匹配器,大幅降低了設備成本。
有兩種類型的切換方式:手動和電機驅(qū)動。 此外,我們還準備了對應更高功率的水冷系統(tǒng)。
還可以作為DC電源,DC電源輸出切換器使用。
只有一個匹配器,不能超出匹配范圍的負荷下使用。
規(guī)格
| 規(guī)格 | 水冷目標更換器 規(guī)格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 切換接點數(shù) | 2個 | 3個 | 4個 | 2個 | 3個 | 4個 |
| 熱開關 | 不可 | |||||
| 使用頻率 | DC-13.56MHz | |||||
| 額定傳導電流 | 70A | |||||
| 耐電壓 | 接點間 AC 10kV 1分(50/60Hz) | |||||
| 接點-GND間 AC 10kV 1分(50/60Hz) | ||||||
| 切換方式 | 手動式 | 電動式 | ||||
| 電機額定功率 | DC24V | |||||
| 電機額定電流 | 0.22A (0.75Amax) | |||||
| 接點位置輸出 | 微動開關(接點容量 0.25A 24VDC) | |||||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||
| 冷卻流量 | 5L/min | |||||
| 耐圧 | 0.5MPa | |||||
| 適配 | 3/8inch N2管接頭 | |||||
| 高頻連接用端子 | O4mm螺栓 | |||||
| 安裝現(xiàn)場溫度 | 5℃~35℃ | |||||
| 安裝現(xiàn)場濕度 | 30%~80% (不結(jié)露) | |||||
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