真空沉積系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱(chēng):
真空沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
HSV-12-80
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
PHIL佐藤 真空沉積系統(tǒng) HSV-12-80
真空沉積系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
PHIL佐藤 真空沉積系統(tǒng) HSV-12-80
本系列電阻加熱蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，專(zhuān)為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。 該系列中的某些型號(hào)還可配備電子束 (EB)。
主仕様
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型 式
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HSV-3-30G
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HSV-8-50
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HSV-12-80
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到達(dá)圧力
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×10-3Pa
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×10-4Pa
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基板加熱溫度
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-
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Max 300℃
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蒸発源（電極）
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2対 10V Max150A
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2対 20V Max200A
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バルブ操作
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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自動(dòng)
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手動(dòng)
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真空槽
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φ300×H300mm
透明ガラス
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φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304
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φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
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回転機(jī)構(gòu)
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-
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公転機(jī)構(gòu)
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自公転機(jī)構(gòu)
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內(nèi)部機(jī)構(gòu)
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快門(mén)機(jī)構(gòu)、電阻加熱機(jī)構(gòu)
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百葉窗機(jī)構(gòu)、加熱加熱器、電阻加熱機(jī)構(gòu)
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主ポンプ
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油拡散3inches
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油拡散8inches
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油拡散12inches或低溫
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補(bǔ)助ポンプ
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150L/min
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500L/min
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1500L/min
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主バルブ
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3inches
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8inches
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12inches
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